石墨件具有非:玫闹凶蛹跛偌劣糜谠臃从Χ阎,铀一石墨反应堆是目前应用相对较多的一种原子反应堆。作为动力用的原子能反应堆中的减速材料应当具有高熔点,稳定,耐腐蚀的性能,石墨完全可以满足上述要求。作为原子反应堆用的石墨纯度要求非常高,杂质含量不应超过几十个PPM。特别是其中硼含量应少于0.5PPM。在工业中还用石墨制造固体燃料火箭的喷嘴,宇宙航行设备的零件,隔热材料和防射线材料。
石墨还能防止锅炉结构,有关单位经过试验之后,在水中加入一定量的石墨粉,能够防止锅炉表面结构,此外石墨屠宰金属烟冲、桥梁、屋顶管道上可以防腐防锈。
石墨经过特殊加工之后,可以制作各种特殊材料用于相关的工业部门。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。
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